安徽集成電路制造無塵車間建設(shè)特點(diǎn)與技術(shù)規(guī)范
來源：www.lijiangblog.com 作者：空氣好凈化
發(fā)布時(shí)間:2025-03-27 08:42:01點(diǎn)擊:次
一、環(huán)境控制的高標(biāo)準(zhǔn)要求
空氣潔凈度等級
核心光刻區(qū)需達(dá)到ISO 1級標(biāo)準(zhǔn)（每立方米≥0.1μm粒子數(shù)≤10個(gè)）
一般加工區(qū)維持ISO 3級標(biāo)準(zhǔn)（≥0.5μm粒子數(shù)≤1000個(gè)/m³）
采用ULPA超高效過濾器（U15級，過濾效率≥99.9995%）
溫濕度精密控制
溫度控制精度±0.1℃（22±0.1℃恒溫系統(tǒng)）
相對濕度控制±1%RH（45%±1%RH）
采用三級制冷系統(tǒng)（冷水機(jī)組+精密空調(diào)+FFU溫控模塊）
二、特殊建筑結(jié)構(gòu)要求
防微振設(shè)計(jì)
核心設(shè)備區(qū)振動(dòng)控制VC-D級（1-80Hz頻段≤1.5μm/s）
采用彈簧隔振基礎(chǔ)+氣浮平臺雙重減振
建筑結(jié)構(gòu)振動(dòng)傳遞損失≥30dB
電磁屏蔽系統(tǒng)
射頻屏蔽效能≥80dB（1MHz-10GHz）
接地系統(tǒng)阻抗≤0.5Ω
采用銅網(wǎng)屏蔽室+波導(dǎo)通風(fēng)窗設(shè)計(jì)
三、超純介質(zhì)供應(yīng)系統(tǒng)
超純水系統(tǒng)
水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)：電阻率≥18.2MΩ·cm，TOC≤1ppb
采用雙級RO+EDI+UV氧化+終端過濾工藝
管道系統(tǒng)：316L EP級不銹鋼，電拋光處理（Ra≤0.25μm）
特種氣體系統(tǒng)
氣體純度：電子級（99.9999%以上）
輸配系統(tǒng)：雙套管檢漏設(shè)計(jì)，VCR面密封連接
配置在線純度分析儀（ppb級檢測精度）
四、能耗與智能化管理
節(jié)能設(shè)計(jì)
熱回收系統(tǒng)（熱回收率≥70%）
變頻控制系統(tǒng)（風(fēng)機(jī)能耗降低40%）
采用LED潔凈照明（能耗較傳統(tǒng)燈具低60%）
智能監(jiān)控系統(tǒng)
實(shí)時(shí)監(jiān)測2000+個(gè)數(shù)據(jù)點(diǎn)（包括粒子計(jì)數(shù)、分子污染等）
大數(shù)據(jù)分析預(yù)測設(shè)備維護(hù)周期
數(shù)字孿生技術(shù)實(shí)現(xiàn)虛擬調(diào)試
五、特殊防護(hù)措施
防靜電系統(tǒng)
地面電阻1×10^6~1×10^9Ω
工作服表面電阻≤1×10^10Ω
離子風(fēng)機(jī)覆蓋率100%
化學(xué)污染控制
AMC（氣態(tài)分子污染）控制：酸、堿、碳?xì)浠衔锞?lt;1μg/m³
化學(xué)過濾器效率≥95%
廢氣處理系統(tǒng)去除率≥99%
集成電路制造無塵車間建設(shè)周期通常需18-24個(gè)月，單位面積造價(jià)達(dá)3-5萬元/㎡。需通過SEMI S2/S8認(rèn)證，并建立嚴(yán)格的變更控制程序。隨著制程進(jìn)入3nm以下節(jié)點(diǎn)，環(huán)境控制正向分子級潔凈度方向發(fā)展，這對車間建設(shè)提出了更高要求。